תהליך בסיסי של ציפוי JKL PVD

(1) טיפול טרום PVD, לרבות ניקוי חפצים וטיפול מקדים.שיטות ניקוי ספציפיות כוללות ניקוי דטרגנט, ניקוי ממס כימי, ניקוי קולי וניקוי הפצצת יונים.
(2) הכניסו אותם לכבשן, לרבות ניקוי תאי ואקום ומתקנים, והתקנה, הפעלה וחיבור של פריטים ומתקנים.
(3) שאיבת אבק, בדרך כלל שאיבה ל-6.6Pa או יותר, פתח את החלק הקדמי של משאבת הדיפוזיה מוקדם יותר כדי לשמור על משאבת הוואקום ולחמם את משאבת הדיפוזיה.לאחר שהחימום מראש מספיק, השסתום הגבוה נפתח ונשאב לוואקום 6 x 10-3 Pa חצי תחתון עם משאבת דיפוזיה.
(4) אפייה, אפיית הפריטים בטמפרטורה הרצויה.
(5) הפצצת יונים, הוואקום הוא בדרך כלל 10 Pa עד 10-1 Pa, מתח הפצצת יונים הוא מתח גבוה שלילי של 200 V עד 1 KV, וזמן ההתקפה הוא 15 דקות עד 30 דקות.
(6) התכה מוקדמת, התאמת הזרם להמסה מוקדמת של החומר, התאמת הזרם להמסה מראש של הציפוי והסרת גז למשך 1 דקה ~ 2 דקות.שקיעה מתאדה.זרם האידוי מותאם כנדרש עד לסיום זמן השקיעה הרצוי.קירור, הפריטים מקוררים לטמפרטורה מסוימת בתא הוואקום.
(7) לאחר הוצאת הפריטים, תא הוואקום נסגר, הוואקום מפונה ל-l × l0-1Pa, ומשאבת הדיפוזיה מקוררת לטמפרטורה המותרת לפני שניתן יהיה לכבות את משאבת התחזוקה ומי הקירור.
 


זמן פרסום: 07-07-2021